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HORIBA堀場晶圓背面壓力控制系統(tǒng)GR-300 GR-300系列對氦氣和氬氣等導熱氣體進行穩(wěn)定且高精度的壓力控制，這對于控制晶圓背面的溫度至關重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質量流量傳感器，不僅可以精確穩(wěn)定地進行微壓差控制，還可以進行流量測量。

HORIBA堀場GR-511F晶圓背面壓力控制系統(tǒng) GR-511F 對氦氣和氬氣等導熱氣體進行穩(wěn)定且高精度的壓力控制，這對于控制晶圓背面的溫度至關重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質量流量傳感器，不僅可以精確穩(wěn)定地進行微小壓力控制，還可以進行流量測量。

日本HORIBA堀場液體物料汽化系統(tǒng)MV-2000 這是一種汽化（氣化）純水和液體材料的汽化系統(tǒng)。采用龍卷風流方式的高效汽化，實現(xiàn)低溫下的穩(wěn)定汽化。該模型非常適合作為“液體材料：半導體工藝中使用的高k材料等”的穩(wěn)定蒸發(fā)系統(tǒng)。通過設置用于載氣控制的質量流量控制器和用于測量液體物料流量的質量流量計，完成高效的汽化系統(tǒng)。

北崎原裝HORIBA堀場SEC-N100流量控制器 它是適用于各種行業(yè)和應用的通用型數(shù)字質量流量控制器，具有從 10 SCCM 到 1000 SLM 的寬流量控制范圍，并且可以從數(shù)字/模擬、DeviceNet™、CC-Link® 中選擇通信方式、PROFIBUS™ 和 EtherCAT®。具有±1.0% SP的高精度，全量程1秒內快速響應，多量程/多氣體功能。

原裝供應HORIBA堀場流量控制器SEC-Z500X 數(shù)字質量流量控制器型號，配備多范圍/多氣體功能，允許用戶更改氣體類型和流量范圍。