Osaka Vacuum大阪真空磁浮軸承式復(fù)合分子泵TG1307M

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新型磁浮軸承型渦輪分子泵 TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M 的特點(diǎn) 省電設(shè)計(jì) 運(yùn)行數(shù)據(jù)、觸地計(jì)數(shù)、型號(hào)信息等可以存儲(chǔ)在主機(jī)中 * 即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸數(shù)據(jù)。 各種通信規(guī)格：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)：NRTL/SEMI-S2/CE 半導(dǎo)體制造設(shè)備 FPD 制造設(shè)備 太陽(yáng)能電池制造設(shè)備 玻璃和鏡頭等光學(xué)元件的加工 薄膜加工 加速器/空間環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備