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產(chǎn)品簡介
ULVAC愛發(fā)科 羅茨干式真空泵 LR600 通過在低溫范圍內(nèi)平衡泵體的熱量，它是 PVD 工藝抽真空的理想泵，尤其是在制備和取出室中，縮短泵送時間以提高吞吐量非常重要。
產(chǎn)品分類
ULVAC愛發(fā)科 羅茨干式真空泵 LR600
ULVAC愛發(fā)科 羅茨干式真空泵 LR600
除了低溫整平（型號：LR）
PVD 工藝外，它還特別適用于制備室和取出室的排氣，在這些地方，縮短抽氣時間對于提高產(chǎn)量很重要。
由于其密封結(jié)構(gòu)，由于其密封
結(jié)構(gòu)，它非常安全。
瞬時停止：在 1000 毫秒內(nèi)實施瞬時停止
措施。
優(yōu)異的耐腐蝕性主要部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊
表面處理。 減少排空腐蝕性氣體時泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能：
可以讀取泵運行狀態(tài)和警告/警報歷史記錄數(shù)據(jù)。 通過使用專用軟件和計算機通信，可以進(jìn)行集中監(jiān)控。
用
成膜設(shè)備（濺射設(shè)備、氣相沉積設(shè)備等）
減少準(zhǔn)備室和取出室的排氣時間
作為輔助排氣泵（渦輪分子泵的輔助排氣、機械增壓泵）
| 型 | LR300 系列 | LR600 系列 | LR1200型 | LR1800型 | LR3601 系列 | LR3601-T（TT） 銅皮 | LR3601-R | LR3601-TR（TTR） 銅 | ||
| 使用的泵 | DRP | LR60 系列 | LR90 系列 | LR90 系列 | LR180型 | LR421 系列 | LR421-T | LR421 系列 | LR421-T | |
| MPB | PRC-003A 系列 | PRC-006A 系列 | PRC-012A 系列 | PRC-018A 系列 | PRC-036C 系列 | PRC-036C（-T） 系列 | PRC-036D 系列 | PRC-036D（D-T） 系列 | ||
| 最大抽速 | 50 赫茲 | m3/h （升/分鐘） | 359 （5,980） | 653 （10,900） | 1,012 （16,900） | 1,701 （28,350） | 3,200 (53,333) | |||
| 60 赫茲 | m3/h （升/分鐘） | 365 （6,080） | 701 （11,700） | 1,051 米 （17,500） | 1,784 （29,700） | 3,200 (53,333) | ||||
| 極限壓力 | 0.67 帕 | |||||||||
| 最大入口壓力（入口壓力） | 氣壓 | |||||||||
| 最大排氣口壓力（排氣壓力） | 1Pa ~ 大氣壓 | |||||||||
| 進(jìn)氣口 （CE 規(guī)格） | VG80 （KF80） | VG100 型 （KF100） | VG150 型 （KF100） | VG150型 | ||||||
| 排氣口 | 肯氟烴40 | KF50 系列 | ||||||||
| MBP 表面處理 | 〇 *2 | 〇 *2 | 〇 *2 | 〇 *2 | × | T：× TT：× | × | TR：× TTR：〇 | ||
| 質(zhì)量 | 公斤 | 275 | 370 | 420 | 545 | 660 | 720 | 660 | 720 | |
| 電力 *3 | 三個階段 | VAC （赫茲） | 200 (50/60), 220 (60) | 180~240 / 380~440 （50/60） | ||||||
| 當(dāng)前值 | 穩(wěn)態(tài) | 一個 | 7.0 （200V 時） | 12.3 （200V 時） | 13.7 （200V 時） | 21.4 （200V 時） | 31.0 （200V 時） 400V 時 20.5 | 35.4 （200V 時） 400V 時 20.5 | ||
| 最大值 | 一個 | 9.6 （200V 時） | 19.0 （200V 時） | 24.2 （200V 時） | 39.8 （200V 時） | 200V 時為 58.4,400V 時為 40.5 | 82.0 （200V 時）400V 時 40.5 | |||
| 冷卻水臨時壓力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | |||||||
| 冷卻水入口/出口壓差 | 兆帕 | >0.1 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | ||||||
| 冷卻水流量 | 升/分鐘 | >5.0 | >4.0 | |||||||
| 吹掃氣體 | 一次壓力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | |||||||
| 二次壓力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | ||||||||
| N2 吹掃 | 軸 | SLM 系列 | 5 | |||||||
| 加斯伯勒 | SLM 系列 | 0~45 | 無 *4 | 0~45 | 無 *4 | 0~45 | ||||
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