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產(chǎn)品簡介
ULVAC愛發(fā)科PRC-003A機(jī)械增壓泵“Model：PRC" 是一種機(jī)械式增壓泵，主要用于需要特別清潔度的半導(dǎo)體和液晶制造工藝。采用封閉電機(jī)，油不會從軸封中泄漏。 也可以選擇大氣壓驅(qū)動類型作為選項(xiàng)。
產(chǎn)品分類
ULVAC愛發(fā)科PRC-003A機(jī)械增壓泵
ULVAC愛發(fā)科PRC-003A機(jī)械增壓泵
由于無
油套管腔中沒有潤滑油，因此即使對水蒸氣等蒸汽和溶劑也能獲得穩(wěn)定的性能。
屏蔽電機(jī)通過采用屏蔽電機(jī)，
我們能夠消除大氣/真空的機(jī)械密封。 無需擔(dān)心漏油，可在清潔的環(huán)境中使用。
具有優(yōu)異耐腐蝕性的
表面處理主要部件采用陽極氧化處理，表面硬度高，耐腐蝕性優(yōu)異，抑制了泵內(nèi)部的劃痕和腐蝕。 還提供可選的表面處理。
由于它可以與常壓驅(qū)動型（選項(xiàng)：變頻）
粗抽泵同時啟動，從而有效地縮短了抽氣時間，因此與標(biāo)準(zhǔn)型相比，可以縮短排氣時間。
除了針對特殊應(yīng)用的標(biāo)準(zhǔn)可選支持
外，還提供用于特殊應(yīng)用的型號。
氣相沉積、濺射、離子鍍
真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣
分析儀器， 泄漏測試設(shè)備
氣體置換、填充、真空絕熱
熱處理爐、熔煉爐
其他真空設(shè)備
| 型號 *1 | PRC-003A 系列 | PRC-006A 系列 | PRC-012A 系列 | PRC-018A 系列 | ||
| 最大抽速 | 50 赫茲 | 280米3/h （4670 升/分鐘） | 500 米3/h （8330 升/分鐘） | 1000 米3/h （16700 升/分鐘） | 1500米3 /h （25000 升/分鐘） | |
| 60 赫茲 | 330 米3/h （5500 升/分鐘） | 600米3/h （10000 升/分鐘） | 1200米3/h （20000 升/分鐘） | 1800 米3/h （30000 升/分鐘） | ||
| 最大吸入壓力 | 50 赫茲 | 1.2 x 103 帕 | 1.3 x 103 帕 | 1.2 x 103 帕 | ||
| 60 赫茲 | 約9.3 x 102 帕 | 1.1 x 103 帕 | 約9.3 x 102 帕 | |||
| 最大允許壓差 | 50 赫茲 | 4.0 x 103 帕 | 7.3 x 103 帕 | 4.3 x 103 帕 | ||
| 60 赫茲 | 3.3 x 103 帕 | 6.0 x 103 帕 | 3.2 x 103 帕 | |||
| 極限壓力 *2 | 4.0 x 10-1 帕 | 6.7 x 10-1 帕 | ||||
| 可驅(qū)動壓力 | ~1.0 x 105 PA （大氣壓力驅(qū)動） | |||||
| 電機(jī) *3 | 格式 | 屏蔽式三相異步電動機(jī) | ||||
| 高效級 | ー | |||||
| 輸出 | 0.75 kW （2 極） | 2.2 kW （2 極數(shù)） | 3.7 kW （2 極數(shù)） | 5.5 kW （2 極） | ||
| 電壓 （200V 級電機(jī)） | 50 赫茲 | 200 伏 | ||||
| 60 赫茲 | 200/220 伏 | |||||
| 使用油 *4 | ULVOIL R-42 | |||||
| 所需油量 | 0.7 升 | 1.5 升 | 1.9 升 | |||
| 冷卻方式 | 水冷式 | |||||
| 冷卻水 | 入口壓力 | 0.3 米帕 | ||||
| 入口壓差 | 0.01 Mpa 或更高 | |||||
| 冷卻水量 | 2 升/分鐘 | 3 升/分鐘 | ||||
| 冷卻水溫度 *5 | 5 ~ 30 °C | |||||
| 進(jìn)氣口 JIS-B-2290 | VG80 等效值 | VG100 等效值 | 相當(dāng)于 VG150 | |||
| 排氣孔 JIS-B-2290 | 相當(dāng)于 VF80 | 相當(dāng)于 VF100 | ||||
| 尺寸 W×D×H *6 | 296×575×260 毫米 | 356×619×320 毫米 | 406×759×340 毫米 | 406×989×340 毫米 | ||
| 質(zhì)量 | 51 千克 | 86 千克 | 118 千克 | 150 千克 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)輔助泵 | VD60C 系列 | VD90C 系列 | VS2401 系列 | VS2401 系列 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 使用說明書 1 份，1 單位油 | |||||
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