咨詢熱線
13693291657
首頁
13693291657
產(chǎn)品簡介
ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 HR90通過在高溫范圍內(nèi)均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產(chǎn)生的升華廢氣物質(zhì)以氣態(tài)排出。
產(chǎn)品分類
ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 HR90
ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 HR90
可以在氣態(tài)下排放高溫區(qū)域熱均衡
CVD 和蝕刻產(chǎn)生的升華廢氣排放物。
“Model：UR" 甚至可以高于 “Model：HR"。
由于安裝了密封
性密封電機，因此非常安全。
瞬時停止：在 1000 毫秒內(nèi)實施瞬時停止
措施。
優(yōu)異的耐腐蝕性主要部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊
表面處理。 減少排空腐蝕性氣體時泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能：
可以讀取泵運行狀態(tài)和警告/警報歷史記錄數(shù)據(jù)。 通過使用專用軟件和計算機通信，可以進行集中監(jiān)控。
用
CVD 設(shè)備
蝕刻設(shè)備
灰化裝置
ALD、ALH 等
| 型 | HR60 | HR90 | HR300型 | HR600 型 | HR1200 型 | ||||
| 使用的泵 | DRP | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | |||
| MPB | - | - | PRC-003A 系列 | PRC-006A 系列 | PRC-012A 系列 | ||||
| 最大 抽速 | 50 赫茲 | m3/h （升/分鐘） | 62(1030) | 112(1860) | 359(5,980) | 653(10,900) | 1,012(16,900) | ||
| 60 赫茲 | m3/h （升/分鐘） | 80(1333) | 126(2100) | 365(6,080) | 701(11,700) | 1,051(17,500) | |||
| 極限壓力 | 帕 | 5 | 0.67 | ||||||
| 最大入口壓力 （入口壓力） | 大氣壓力 *1 | ||||||||
| 最大排氣口壓力 （排氣壓力） | 帕 | 1~大氣壓 | |||||||
| 進氣口 （CE 規(guī)格） | VG50（KF50） 系列 | VG80型 （KF50） | VG80（KF80） 系列 | VG100型 （KF100） | |||||
| 排氣口 | 肯氟烴40 | ||||||||
| 質(zhì)量 | 公斤 | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | |||
| 電力 | 三個階段 | 交流電（Hz） | 200(50/60), 220(60) | ||||||
| 當前值 | 穩(wěn)態(tài) | 一個 | 7.1 （200V 時） | 11.2 （200V 時） | 7.8 （200V 時） | 12.9 （200V 時） | 15.4 （200V 時） | ||
| 最大值 | 一個 | 7.3 （200V 時） | 11.8 （200V 時） | 8.1 （200V 時） | 13.8 （200V 時） | 18.9 （200V 時） | |||
| 冷卻水臨時壓力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | |||||||
| 冷卻水入口/出口壓差 | 兆帕 | >0.1 | |||||||
| 冷卻水流量 | 升/分鐘 | >5.0 | |||||||
| 吹掃氣體 | 一次壓力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | ||||||
| 二次壓力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | |||||||
| N2 吹掃 | 軸 | SLM 系列 | 5 | ||||||
| 加斯伯勒 | SLM 系列 | 0~45 | |||||||
當前位置：
相關(guān)文章
上一個：
返回列表
