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產(chǎn)品簡介
進口現(xiàn)貨EBARA荏原ESA100WN干式真空泵 兼容高溫控制抽速大大流量排氣采用耐腐蝕材料標(biāo)準(zhǔn)耐腐蝕性增強選項能夠在重負(fù)荷下進行處理在不同頻率下具有相同的性能 （50/60 Hz）油提供 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL
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| 型式 | 単位 | ESA15-D | ESA25-D | ESA25XW | ESA70W(-D) | ESA70WN(-D) | ESA80W-HDF | ESA80WN-HDF | ESA100W | ESA100WN | ESA200W | ESA300W | ESA500W | ESA700W | |
| 排気速度 | L/min | 1,400 (50Hz) | 2,500 (50Hz) | 5,000 (50Hz) | 7,000 (50Hz) | 7,000 (50Hz) | 8,400 (50Hz/60Hz) | 8,400 (50Hz/60Hz) | 10,000 (50Hz/60Hz) | 10,000 (50Hz/60Hz) | 20,000 (50Hz/60Hz) | 28,000 (50Hz) | 47,000 (50Hz) | 80,000 (50Hz/60Hz) | |
| 1,700 (60Hz) | 3,000 (60Hz) | 6,000 (60Hz) | 8,400 (60Hz) | 8,400 (60Hz) | 30,000 (60Hz) | 50,000 (60Hz) | |||||||||
| 到達圧力 | Pa | 400 (50Hz) | 5.3 (50Hz) | 5.3 (50Hz) | 0.27 (50Hz) | 0.4 (50Hz) | 0.13 | 0.27 | 0.13 | 0.27 | 0.53 | 0.53 | 0.53 | 0.5 | |
| 270 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 0.13 (60Hz) | 0.27 (60Hz) | |||||||||||
| 接続口徑 | 吸気口 | NW40 | NW50 | ISO80 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW80 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | |
| 排気口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW50 | ||
| 到達圧力時電力概略値 | kW | 2.9 (50Hz) | 2.6 (50Hz) | 5.2 (50Hz) | 3.6 (50Hz) | 3.6 (50Hz) | 4.2 | 4.2 | 4.9 | 4.9 | 3.2 (50Hz) | 6.6 (50Hz) | 5.1 (50Hz) | 7.4 | |
| 3.2 (60Hz) | 2.9 (60Hz) | 5.8 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 3.4 (60Hz) | 7.3 (60Hz) | 6.7 (60Hz) | ||||||||
| 冷卻水 | 流量 | L/min | 3.5~8 | 3.5~8 | 7~16 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 6~9 | 6~9 | 6~9 |
| 溫度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 14~17 (4.6) | 17~20 (3.8) | 34~40 | 24~27 (4.7) | 24~27 (4.7) | 54~57 | 54~57 | 54~57 | 54~45 | 17~20 (3.8) | 7.5~10.5 | 8.5~11 | 8.5~11 |
| 電源 相／電圧／周波數(shù) | 200Vモデル | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | |
| 400Vモデル | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | - | ||
| 460Vモデル | 3相/440V/50Hz 3相/440-480V/60Hz | 3相/440V/50Hz 3相/440-480V/60Hz | 3相/440V/50Hz 3相/440-480V/60Hz | ||||||||||||
| 電源容量 | kVA | 6.4 | 6.4 | 12.8 | 10.3 | 10.3 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12 | 23.7 | 41.3 | 46.5 | |
| 概略質(zhì)量 | kg | 240 | 240 | 480 | 380 | 380 | 400 | 400 | 400 | 400 | 410 | 700 | 750 | 1200 | |
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