日本現(xiàn)貨ULVAC愛發(fā)科WP-01傳感器真空規(guī)管

日本現(xiàn)貨ULVAC愛發(fā)科WP-01傳感器真空規(guī)管

真空泵(低?中真空)

ULVAC的真空泵是以ULVAC在真空領(lǐng)域豐富的技術(shù)和經(jīng)驗為基礎(chǔ)開發(fā)的。除了油回轉(zhuǎn)真空泵以外，干泵也有羅茨型、膜片型和活塞型等。我們有適用于所有領(lǐng)域·條件·用途的真空泵系列產(chǎn)品。

特點

• 通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。

• 采用ULVAC設(shè)計的轉(zhuǎn)子軸，實現(xiàn)高性能的排粉。

• 從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

• 用途

• 半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等。

• 真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

• 鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

• 醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。